SI Waferi keemilise tarnimissüsteem koosneb kahest alamsüsteemist:
Dope segamissüsteem
Segatud vedeliku toitesüsteem
Süsteem tagab masina lõpp -punktidele poleeriva lägade segamise, segamise ja toitefunktsioonid.
Toote parameetrid
1. Tootmise vool:
Ühendamine → Segamine → tarnimine
2.Major materjalid:
PP kooreplaatidega metallraam
PVDF pneumaatiline pump / perfluoro pneumaatiline pump
3. Spetsiaalsed omadused:
Varustatud spetsiaalse olecranoni tünni käruga
Salvestuspaagi konfiguratsioon: 1 aktiivne + 1 varu
Tooteomadused ja rakendused
Süsteem tarnib vahvli töötlemiseks keemilise mehaanilise poleerimise läga.
Toote üksikasjad
Kasutab imporditud materjale ja PFA jahutusmähiseid torusid
Range puhtuse kontroll monteerimise ajal
Kogunenud klassi 10 000 puhta ruumi keskkonnas
Hoiab ära osakeste ja metalli saastumise
Rakenduse stsenaariumid
◇ 2024. aasta detsembris telliti SI Wafer Chemical Supply System (CDS) ja alustati tegevust Shanghai AST kliendisaidil.
Kuum tags: SI Wafer Chemicals Tarning System, China SI Wafer kemikaalid, mis varustavad süsteemi tootjaid
